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Light Bench-Rx准分子激光微加工系统
商品货号:ECS002624
商品品牌:Optec
详细介绍

 

 

Light Bench-Rx准分子激光微加工系统
基于正常思维,对于激光加工方面的推测-它在光束传送上为UV激光微加工提供市场上最灵活的,高性价比的解决方案,现在有扩展了多波长的性能。
性能 :
  • 通过聚光透镜可观测到零件,拥有独特的WYSIWYG共焦性能;当零件在CCTV监视器上显现处于焦点之上时,激光束会自动的在零件上对准焦点,发出激光对突出区域进行精确加工。
  • 激光微加工的材料包括各种不同的聚合物,陶瓷,玻璃,金属,薄膜等。
  • 最佳能量密度为材料依附范围在0.25-25J/cm²内。
  • 待处理区域同时依赖于遮罩,激光光束尺寸,的选定的demag及能量密度要求。典型特征尺寸为2-2000µm。
  • 加工率依材料特点而定,0.05 - 5 µm/激光发射。在某些情况下热效应也会限制最大发射的重复率。
关键特征:
  • 加工头:具有高分辨率共焦分色镜头,TTL目视系统和同轴照明设备可进行实时监视加工结果
  • 单一焦点控制伴随数字定位显示:CCTV图象聚焦= UV聚焦= WYSIWYG性能
  • 高硬度轨道,完全可调底座;易于配置适用于其他仪器及获取可复制的结果。
  • 广泛的辅助程序;-配置系统后适用于激光及应用程序
应用:
  • 精密打孔-过滤器,喷墨装置,喷嘴,导管,探针板
  • 凹槽磨削-纤维底座,流控技术,切割
  • 3D显微结构-光纤显微镜头,微透镜阵列
  • 清洗-细线剥离
光学:
  • 波长                     193nm to 1.064µm 193nm到 1.064µm
  • 精确能量密度        0.1J/cm2 to 25J/cm2 0.1J/cm2 到 25J/cm2
  • 材质                     聚合物,无机物,金属
  • FOV                     达2mm
  • 机加工分辨率        <1.5 micron
  • 能量控制              5%到 95%
  • 遮罩可选              从简单的遮罩到可调孔径多方位选取器
  • 缩倍                     4x to 20x,或无焦
  • TTL显示                达500x
  • 零件照明               集成
机械:
  • 分色镜头聚焦范围            35mm –Z轴可调
  • 操作高度                         3点支撑可调
  • 轨长                               500-2000mm
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